系统能力:时产能CPH600-1000(与产品和工艺有关)
XY位置精度度:标准模式±10um@3σ
芯片旋转:芯片尺寸 > 3 × 3mm,±0.05°;芯片尺寸:0.5 × 0.5mm ~ 3 × 3mm,±0.2°
物料处理能力:
芯片 长宽:0.5×0.5 ~ 10×10(20×20 ~ 400×400mil),厚度:0.1 ~ 1mm(4 ~ 40mil)
陶瓷基板 长:50 ~ 240mm(2'' ~ 9.44''),宽:25.4 ~ 100mm(1'' ~ 3.94''),厚度:0.1 ~ 0.8mm(4 ~ 31.5mil)
银膜:100 × 200mm