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核心技术
1 高精度 • 亚微米级的运动平台
▷ 多轴运动控制技术
▷ 震动抑制/主动防震
▷ 温度控制
▷ 状态观测器摩擦力补偿等
2 高可靠 • 高性能的控制算法
▷ 空间姿态多自由度对位
▷ 亚微米级动态补偿
▷ 振动仿真
▷ 模态分析
▷ 高速内部通信等
3 高效率 • 模块化的结构设计
▷ 设备模块化设计
▷ 整体线路集成化
▷ 任意添加多轴联动
▷ 灵活配置满足特定需求